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> 蓝宝石衬底化学机械抛光的机理研究
蓝宝石衬底化学机械抛光的机理研究
蓝宝石衬底化学机械抛光的机理研究
资料类型:
PDF文件
关键词:
化学机械抛光
蓝宝石衬底
机理
去除速率
动力学过程
资料大小:
347K
所属学科:
分子表征
来源:
2007年第六届中国功能材料及其应用学术会议暨2007国际功能材料专题论坛论文集(11.15-11.19,武汉)
简介:
利用磨料为SiO2的碱性抛光液对蓝宝石衬底材料进行了化学机械抛光,并对蓝宝石衬底化学机械抛光(简称CMP)的机理进行了深入的研究,指出了蓝宝石CMP的主要的动力学过程,并详细分析了影响各动力学过程的诸要素。结果表明,蓝宝石衬底的CMP过程是一个复杂的多相反应过程,是化学作用与机械作用互相加强和促进的过程,影响它的各要素间既相互促进,又相互制约。
作者:
牛新环,刘玉岭,檀柏梅,马振国
上传时间:
2008-05-16 15:12:30
下载次数:
88
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houlei85
2013-05-30 10:01:58
小粒径的磨料好吗?
025zhu
2011-03-11 20:57:39
不是太具体其中没有太多的技术参数
mpc2001
2008-12-08 11:08:49
还是不错的。
chenchaoxuguoxiu
2008-12-04 16:46:15
我想看看这个
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